多晶硅是半導(dǎo)體行業(yè)的直接原料，作為半導(dǎo)體、電子信息工程和光伏電池生產(chǎn)基本的功能材料之一。多晶硅材料的生產(chǎn)線消耗的能源量大，產(chǎn)生的高溫廢氣余熱回收成了一項(xiàng)重要的環(huán)保措施。

一、多晶硅生產(chǎn)線余熱回收意義

近些年來光伏產(chǎn)業(yè)開始迅猛發(fā)展，光伏發(fā)電技術(shù)在發(fā)電總量上的占比越來越大，也造成了多晶硅材料的供不應(yīng)求。對(duì)于多晶硅生產(chǎn)企業(yè)而言工業(yè)生產(chǎn)造成的熱污染與環(huán)境污染問題日益嚴(yán)重用，可持續(xù)發(fā)展技術(shù)的應(yīng)用能有效解決熱污染，利用余熱回收設(shè)備把廢氣中的熱能與空氣或熱水減少日益嚴(yán)重的環(huán)境污染問題。

二、多晶硅余熱回收流程

多晶硅行業(yè)的廢氣來源有兩種，生產(chǎn)線中TCS合成、冷凝、蒸餾、再生工序產(chǎn)生的廢氣和廢液被壓縮空氣霧化后產(chǎn)生的氣體，傳統(tǒng)處理上這些廢氣余熱不經(jīng)二次利用直接排放，采用余熱回收工藝則需要將廢氣一同進(jìn)入焚燒爐中進(jìn)行焚燒，排出的煙氣溫度約為950攝氏度左右，煙氣進(jìn)入余熱回收設(shè)備中間接加熱水，使其變?yōu)榈蛪赫羝蜻^熱水供應(yīng)廠區(qū)使用。從余熱回收設(shè)備排出的煙氣大部分熱能得到轉(zhuǎn)化利用，煙溫得到降低經(jīng)過后續(xù)處理后即可由煙囪排放。

三、多晶硅生產(chǎn)線廢氣余熱回收前景

廢氣余熱回收設(shè)備在技術(shù)成熟度、設(shè)備投資成本等方面具有更好的優(yōu)勢(shì)，隨著未來技術(shù)的不斷進(jìn)步和環(huán)保政策的推動(dòng)，會(huì)出現(xiàn)更多智能化的余熱回收技術(shù)應(yīng)用到各行業(yè)的余熱回收項(xiàng)目中，為可持續(xù)發(fā)展貢獻(xiàn)更大的力量。